控制高纯度系统中的细菌的方法之一是使用高纯度水处理臭氧发生器作为消毒剂，有效的方法是将臭氧溶解于罐内的高纯度水中，然后在将水送入分配循环之前去除臭氧。

大型臭氧消毒器的使用范围 目前国内臭氧消毒灭菌主要应用于医药行业洁净厂房、卫生行业手术室和手术器械、食品行业和环境、服装材料和包装材料等的消毒灭菌，并将臭氧消毒应用于水（医疗用水、自来水、矿泉水、啤酒、饮料等）的终端消毒，可以增加水中的含氧量，改善口感。

北京大型臭氧发生器污水处理 臭氧由三个氧原子构成，其氧化性仅次于氟，消毒性比氯还要强，而且无公害，既环保又良好的性能。