餐具消毒用臭氧发生器一般是通过远红外加热来工作的。电加热元件加热空气或产生辐射热。器具暴露在高温下一段时间后，其表面的细菌和病毒等微生物中的蛋白质会变性并被杀死。

污水处理消毒设备大型臭氧发生器的消毒灭菌除臭原理：臭氧灭菌属于生化氧化反应。臭氧氧化并分解细菌中葡萄糖所必需的酶。还可以直接与细菌、病毒反应，破坏它们的细胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂类、多糖等大分子聚合物，渗入细胞膜组织。

小型消毒用臭氧发生器设备的主要功能：水处理臭氧发生器用于饮用水处理，也可用于废水处理，可作为预处理或与其他处理方法相结合的后处理。