臭氧的产生方式主要有:电晕法、电解法、紫外线法、核辐射法、等离子体法等等。食品、医院及制药等企业已经投入应用的臭氧发生技术主要有电晕放电法和电解法。
通常都借助无声放电作用从氧气或空气制备臭氧,臭氧发生器即根据这一原理制造。利用臭氧和氧气沸点的差别,通过分级液化可得浓集的臭氧。在紫外线辐射下,通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。
工业上,用干燥的空气或氧气,采用5 ~ 25 kV的交流电压进行无声放电制取。另外,在低温下电解稀硫酸,或将液体氧气加热都可制得臭氧。
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